Микро систем ба MEMS
ELEC701 / Магистр
Багц цаг: 3
Электроник, холбооны инженерчлэлийн тэнхим
Улирал харгалзахгүй
Лекц: 2 цаг - 16 хоног
Семинар: -
Лаборатори: 3 цаг - 16 хоног
Бие даалт: 4 цаг - 16 хоног
Зорилго
Энэ хичээлээр цахилгаан статик идэвхжилт систем буюу MEMS-ийн анализ болон аргуудад суралцана. Хичээлийн агуулга хатуу биеийн механик, цахилгаан статик, мультифизик системийн анализийг аналитик болон тоон аргуудаар хийх үндэстэй танилцана. Оюутнууд цаашид энэ чиглэлийн материал унших, онолын гүн мэдлэг, анализ хийх техник эзэмшинэ.
Товч агуулга
MEMS-ийн мульти дисциплин чанар. Микро инженерчлэлийн үндсэн материалуудын судалгаа. Янз бүрийн салбар дахь MEMS-ийн хэрэглээ. Микросистемийн ажиллах зарчим - бичил хөдөлгүүрийн техник - микро мэдрэгч - микропрактуатор - микропроцессор - бичил микрометр - -микро хавхлага - бичил микроскоп. Бичил үйлдвэрлэл - гадаргуугийн микро машин - LIGA - SLIGA - бичил системийн пакежинг.